半导体工业的解决方案

紧凑、可靠、强劲且精确

Balluff为半导体工业提供广泛的服务范围,包括极其可靠的传感器、系统和相对应的连接,以满足该产业不断提高的要求:既有对设备制造商的要求,也有对生产过程本身的要求。我们专为客户订制的解决方案同样有助于半导体加工设备能够得到完全高效的使用,并且设备具有极高的可用性。

 

应用领域

液位和渗漏识别
电容式传感器保证半导体工业中的生产过程

Balluff电容式传感器BCS用于探测液位。这种传感器通过直接接触或透过容器壁探测液体、颗粒物和粉末等所有材料,甚至包括非导电材料。
使用我们的SmartLevel技术,您甚至能第一次穿透壁厚达10 mm的塑料容器可靠地探测浓缩酸碱液。 此时,SmartLevel传感器补偿任一类型的水分、泡沫和粘着物。其安装简单,也可集成在现有设备中,此外还降低成本。

 

晶圆加工 – 按部就班
在敏感易损的工艺步骤之间可靠地探测位置

在半导体工业中只有更微小,没有最微小。 对于晶圆和载体传送领域,Balluf提供完美满足这一要求的微型传感器。Balluf在微型结构中提供各种不同的技术:
光电式、感应式和光导纤维式传感器,用于识别物体和测量距离。

感应式Namur传感器适用于低压领域。

优势

  • 通过精确且强劲的产品实现高效的设备使用
  • 可靠的传感器确保高度的设备可用性
  • 微型化传感器解决方案带来紧凑的结构
 

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