Lösungen für die Halbleiterindustrie

Kompakt, zuverlässig, leistungsstark und präzise

Der Halbleiterindustrie bietet Balluff ein breites Leistungsspektrum äußerst zuverlässiger Sensoren, Systeme und zugehöriger Connectivity, um ihren steigenden Anforderungen zu begegnen: für Anlagenbauer und den Herstellungsprozess selbst. Ebenso tragen unsere kundenspezifischen Lösungen dazu bei, dass Anlagen zur Halbleiterfertigung überaus effizient und mit einer hohen Verfügbarkeit genutzt werden können.

 

Einsatzgebiete

Füllstands- und Leckage-Erkennung
Kapazitive Sensoren sichern Prozesse in der Halbleiterindustrie

Balluff kapazitive Sensoren BCS werden zur Füllstandserfassung eingesetzt. Sie erfassen alle – auch nichtleitende – Materialien wie Flüssigkeiten, Granulate und Pulver in direktem Kontakt oder durch Behälterwände.
Unsere SmartLevel-Technologie ermöglicht es, erstmals auch konzentrierte Säuren und Laugen durch Kunststoffbehälter mit bis zu 10 mm Wandstärke zuverlässig zu erfassen. Dabei kompensieren SmartLevel-Sensoren Feuchtigkeit, Schaum und Anhaftung jeglicher Art. Ihre einfache Montage und Integration, auch in bestehende Anlagen, reduzieren zudem die Kosten.

 

Wafer-Bearbeitung – Handling Step by Step
Zuverlässige Positionserfassung zwischen sensiblen Prozessschritten

Die Miniaturisierung in der Halbleiterindustrie geht kontinuierlich weiter. Für die Bereiche Wafer- und Carrier-Handling bietet Balluff Mini-Sensoren, die diese Anforderung perfekt erfüllen. So stehen in Miniatur-Bauform unterschiedliche Technologien zur Verfügung:
optoelektronische, induktive, kapazitive und faseroptische Sensoren für die Objekterkennung und Abstandsmessung.

Für den Niederspannungsbereich eignen sich induktive Namur-Sensoren.

Ihre Vorteile

  • effiziente Anlagennutzung durch präzise und leistungsstarke Produkte
  • hohe Anlagenverfügbarkeit durch zuverlässige Sensorik
  • kompakte Bauweise durch miniaturisierte Sensorlösungen
 

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