半導体産業向けのソリューション

コンパクト、信頼性、高性能、精密

Balluff は、半導体産業に対して極めて信頼性の高いセンサ、システムおよび付随するコネクティビティの広範なサービスを提供しています。これはプラント建設および製造プロセス自体に対して益々高度化する要求に応えるものです。また、当社が提供するお客様固有のソリューションは、半導体製造用の設備をきわめて効率的かつ高い稼働率で使用できるようにします。

 

用途範囲

充填レベルおよび漏れの検知
静電容量センサは、半導体産業におけるプロセスを確実なものにします

Balluff の静電容量センサ BCS は、充填レベルの検出に使用されます。このセンサは、非導電性物質も含めて液体、顆粒、粉体などのあらゆる物質を、直接的にまたは容器壁を介して検出します。
当社の SmartLevel テクノロジーによって、初めて濃縮された酸やアルカリでさえも壁厚 10 mm までのプラスチック容器を介して確実に認識できるようになりました。その際、SmartLevel センサはあらゆる種類の湿気、泡および付着の影響を補償します。さらに、既存の設備にも簡単に組み付けて統合することができるため、コストが抑えられます。

 

ウエハー加工 – 段階的な処理
細心の注意を要するプロセスステップ間で信頼性の高いポジション検知

半導体産業において小型化が益々進展しています。ウエハーおよびキャリアの処理において、Balluff はこれらの要件を完璧に満たす Mini センサを提供しています。ミニチュア構造のさまざまなテクノロジーをご用意しております:
物体検知や距離測定用の光電センサ、誘導型センサ、静電容量センサおよび光ファイバセンサ

低電圧領域には誘導型 NAMUR センサが適しています。

利点

  • 精密で高性能な製品による効率的な設備利用
  • 信頼性の高いセンサシステムによる高いシステム稼働率
  • 小型化されたセンサソリューションによるコンパクトな構造
 

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