Oplossingen voor de halfgeleiderindustrie

Compact, betrouwbaar, krachtig en nauwkeurig

Balluff voorziet de halfgeleiderindustrie met een breed scala aan uiterst betrouwbare sensoren, systemen en bijbehorende connectiviteit zodat die in staat is om aan de steeds hogere eisen te kunnen voldoen, zowel voor constructeurs van apparatuur als het productieproces zelf. Onze klantspecifieke oplossingen zorgen er ook voor dat apparatuur voor de productie van halfgeleiders zeer efficiënt en met een hoge beschikbaarheid gebruikt kan worden.

 

Toepassingsgebieden

Vulstand- en lekkagesignalering
Capacitieve sensoren beveiligen processen in de halfgeleiderindustrie

Capacitieve sensoren BCS van Balluff worden voor de vulstandsignalering toegepast. Deze signaleren – ook niet-geleidende – materialen zoals vloeistoffen, korrels en poeders via direct contact of zelfs door reservoirwanden heen.
Dankzij onze SmartLevel-technologie is het nu ook mogelijk om geconcentreerde zuren en logen door kunststof reservoirs met tot 10 mm dikke wanden betrouwbaar te registreren. Hierbij compenseren SmartLevel-sensoren vocht, schuim en elke vorm van aanhechting. Door de eenvoudige montage en integratie, ook in bestaande installaties, blijven de kosten bovendien laag.

 

Waferbewerking – handling step by step
Betrouwbare positiesignalering tussen gevoelige processtappen

De miniaturisering in de halfgeleiderindustrie gaat gestaag verder. Voor de toepassingsgebieden wafer- en carrier-handling biedt Balluff minisensoren die perfect aan deze vereisten voldoen. Men kan in miniatuurbouwvorm over diverse technologieën beschikken:
opto-elektronische, inductieve, capacitieve en glasvezelsensoren voor objectherkenning en afstandsmeting.

Voor laagspanningstoepassingen zijn inductieve Namur-sensoren zeer geschikt.

Uw voordelen

  • Efficiënt gebruik van apparatuur door nauwkeurige en optimaal presterende producten
  • Hoge apparatuurbeschikbaarheid door betrouwbare sensoren
  • Compacte constructie door sensoroplossingen in miniatuurvorm
 

Heeft u hulp nodig?

Service en support
Wenst u technisch advies?
Gelieve hier met ons contact op te nemen

Contact
Gelieve voor alle andere
vragen ons contactformulier te gebruiken