Halbleiter > Füllstands- und Leckage-Erkennung
Leckageüberwacchung bei der Halbleiterherstellung

Smarte Technologie für sichere Prozesse

Die Anforderungen an Sicherheit und Stabilität sind in der Halbleiterfertigung enorm hoch. Mit unseren zuverlässigen Komponenten tragen wir dazu bei, Ihre Prozesse zu sichern. Beispielsweise indem wir dafür sorgen, dass Ihre Füllstände immer im optimalen Bereich liegen. Und dass Sie Leckagen frühzeitig erkennen.

Unsere kapazitiven Sensoren BCS erfassen sowohl leitende als auch nichtleitende Materialien wie Flüssigkeiten, Granulate und Pulver in direktem Kontakt oder durch Behälterwände. Mit der Smart Level Technologie erfassen unsere kapazitiven Sensoren sogar erstmals auch konzentrierte Säuren und Laugen durch Kunststoffbehälter mit bis zu 10 mm Wandstärke.

Sensoren von Balluff sind einfach zu montieren und können auch in bestehende Anlagen problemlos integriert werden. Damit Ihre Prozesse nicht nur sicher, sondern auch effizient und wirtschaftlich ablaufen.

Applikationsbeispiele

Berührungslose Detektion von Füllständen durch die Behälterwand
Füllstandsabfrage an Bypassrohren
Medienberührende Füllstandserfassung in Tanks
Berührungslose Füllstandsmessung bei Tanks
Leckage-Überwachung von Überlaufbecken