Soluções para a aplicação em vácuo
Soluções de sensor de alta precisão para a aplicação em vácuo

Soluções de alta precisão para a aplicação em vácuo

Para a aplicação direta em alto vácuo, ultra-alto vácuo e vácuo ultrapuro são necessários sensores com características construtivas excepcionais. Nós oferecemos para tal, modelos de aparafusamento com função de vedação, assim como sensores optoeletrônicos de alta precisão, para instalação em alto vácuo. Neste caso, os sinais são conduzidos para fora da câmara de vácuo por meio de solução "feed-through" através de uma passagem para os cabos elétricos.

Exemplos de aplicação

Centralização de wafers na trava de vácuo
Detecção de presença e posição de wafers "on Blade"
Controle de presença através de canal do invólucro na câmera de vácuo