Process. seguro de wafer – passo a passo
Detecção confiável de posição no processamento de wafers

Process. seguro de wafer – passo a passo

Os nossos sensores garantem que, durante o seu processamento, os wafers sejam transportados de maneira confiável através de cada um dos passos sensíveis do processo. Com controle exato de presença e detecção de posição, os sensores garantem que os wafers sejam conduzidos de maneira otimizada da litografia, para a caustificação a seco, e finalmente até a limpeza. Os formatos construtivos particularmente pequenos permitem também a integração dos sensores em robôs. Assim é possível garantir uma detecção confiável dos wafers mesmo em um espaço de instalação reduzido.

Exemplos de aplicação

Controle de presença de wafers
Detecção de wafers integrada na extremidade do atuador
Registro linear da posição
Controle de presença FOUP
Detecção de posição com sensores indutivos de baixa tensão