Polovodiče > Řešení pro použití ve vakuu
Velmi precizní řešení snímačů pro použití ve vakuu

Velmi precizní řešení pro použití ve vakuu

Pro přímé použití ve vysokém vakuu, ultravysokém vakuu a extrémně vysokém vakuu jsou nutné snímače s mimořádnými konstrukčními vlastnostmi. Nabízíme šroubovací provedení s funkcí těsnění i velmi přesné optoelektronické snímače určené k montáži ve vysokém vakuu. Signály jsou vyvedeny z podtlakové komory přes kabelovou průchodku elektrického vedení pomocí řešení „Feed-through“.

Příklady aplikací

Středění waferů v podtlakovém kanálu
Detekce přítomnosti a polohy waferů „on Blade“
Kontrola přítomnosti vnitřním kanálem na podtlakové komoře