Spol. zpracování waferů – krok za krokem
Spolehlivé snímání polohy při zpracování waferů

Spol. zpracování waferů – krok za krokem

Naše snímače zajišťují, že wafery během zpracování spolehlivě procházejí jednotlivými citlivými procesními kroky. Díky přesné kontrole přítomnosti, snímání a sledování polohy snímače zajišťují, že wafery plynule procházejí od litografie přes suché leptání až po čištění. Mimořádně malé rozměry umožňují integraci snímačů do robotu. Můžeme tak i malém montážním prostoru zaručit spolehlivou detekci waferů.

Příklady aplikací

Kontrola přítomnosti waferů
Detekce waferů integrovaná v koncovém výkonném prvku
Lineární snímání polohy
Kontrola přítomnosti FOUP
Snímání polohy indukčními nízkonapěťovými snímači