Anwendung im Vakuum
Hochpräzise Sensor-Lösungen für die Anwendung im Vakuum

Hochpräzise Lösungen für die Anwendung im Vakuum

Für den direkten Einsatz im Hoch-, Ultrahoch- und Ultrareinstvakuum sind Sensoren mit außergewöhnlichen konstruktiven Merkmalen erforderlich. Wir bieten hierfür Einschraub-Ausführungen mit Dichtfunktion sowie hochpräzise optoelektronische Sensoren zur Installation im Hochvakuum. Die Signale werden dabei per „Feed-through“-Lösung über eine Kabeldurchführung der elektrischen Leitungen aus der Vakuumkammer herausgeführt.

Applikationsbeispiele

Wafer-Zentrierung in der Vakuumschleuse
Anwesenheits- und Positionserkennung von Wafern „on Blade“
Anwesenheitskontrolle durch Gehäusekanal an der Vakuumkammer