Wafer-Bearbeitung
Zuverlässige Positionserfassung bei der Wafer-Bearbeitung

Sichere Wafer-Bearbeitung – Schritt für Schritt

Unsere Sensoren sorgen dafür, dass Wafer bei ihrer Bearbeitung zuverlässig durch jeden einzelnen der sensiblen Prozessschritte transportiert werden. Mit exakter Anwesenheitskontrolle, Positionsabfrage und Positionserfassung stellen die Sensoren sicher, dass die Wafer reibungslos von der Lithografie über das Trocken-Ätzen bis zur Reinigung gelangen. Besonders kleine Bauformen ermöglichen dabei auch die Integration der Sensoren in den Roboter. So können wir selbst bei geringem Einbauraum eine zuverlässige Wafer-Erkennung gewährleisten.

Applikationsbeispiele

Anwesenheitskontrolle von Wafern
Wafer-Erkennung integriert im Endeffektor
Lineare Positionserfassung
FOUP-Anwesenheitskontrolle
Positionsabfrage mit induktiven Niederspannungssensoren