Soluciones para aplicaciones en vacío
Soluciones de sensores altamente precisas para la aplicación en vacío

Soluciones altamente precisas para aplicaciones en vacío

Para el empleo directo en vacío estéril, ultra estéril y puro se precisan sensores con unas características constructivas específicas. Para ello ofrecemos versiones para roscar con función de impermeabilización, así como sensores optoelectrónicos altamente precisos para la instalación en el vacío elevado. Las señales salen de la cámara de vacío a través de un pasamuros estanco.

Ejemplos de aplicación

Centraje de obleas en la esclusa de vacío
Detección de presencia y posición de obleas "on Blade"
Control de presencia a través del canal de carcasa en la cámara de vacío