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Detección de posición fiable en el procesamiento de plaquitas

Proceso seguro de obleas: paso a paso

Nuestros sensores aseguran el transporte fiable de las obleas durante su procesamiento por cada uno de los sensibles pasos de proceso. Con un exacto control de presencia, exploración de posición y detección de posición, estos sensores aseguran que las plaquitas lleguen sin ningún problema desde la litografía, pasando por el grabado en seco hasta la limpieza. Los diseños especialmente compactos permiten también la integración de los sensores en robots. De este modo podemos garantizar una detección fiable de las obleas incluso en caso de que el espacio de montaje sea muy reducido.

Ejemplos de aplicación

Control de presencia de obleas
Detección de obleas integrada en el efector final
Detección de posición lineal
Control de presencia FOUP
Exploración de posición con sensores inductivos de baja tensión