Solutions pour une utilisation sous vide
Solutions de capteurs ultraprécises pour une utilisation sous vide

Solutions ultraprécises pour une utilisation sous vide

Des capteurs dotés de caractéristiques constructives exceptionnelles sont nécessaires pour une utilisation directe dans le domaine du vide poussé, de l'ultravide et du vide ultra-pur. Nous vous proposons à cet égard des versions à visser avec fonction d'étanchéité ainsi que des capteurs optoélectroniques ultraprécis pour une installation dans le vide poussé. A cette occasion, les signaux sont acheminés hors de la chambre à vide via la solution "Feed-through", par l'intermédiaire d'une presse-étoupe de câbles électriques.

Exemples d'application

Centrage des plaquettes de silicium dans le sas sous vide
Contrôle de présence à travers le canal du corps de la chambre à vide
Détection de présence et de position de plaquettes de silicium "on Blade"