Traitement sûr de plaquettes de silicium
Détection de position fiable pour le traitement de plaquettes de silicium

Traitement sûr de plaquettes de silicium

Nos capteurs assurent un transport fiable des plaquettes de silicium lors de leur traitement à travers chacune des étapes de processus sensibles. Grâce à un contrôle de présence et une détection de position d'une grande précision, les capteurs garantissent de façon sûre que les plaquettes de silicium parcourent sans dérangement l'ensemble du processus, de la lithographie jusqu'au nettoyage en passant par la gravure à sec. Des formes particulièrement compactes permettent à cette occasion également une intégration des capteurs dans le robot. Ainsi, une détection fiable des plaquettes de silicium peut être garantie, même en cas d'espace de montage étroit.

Exemples d'application

Contrôle de présence de plaquettes de silicium
Détection de plaquettes de silicium, intégrée dans l'effecteur terminal
Détection de position linéaire
Contrôle de présence FOUP
Détection de positions avec des capteurs inductifs basse tension