Félvezetők > Megoldások vákuumban való alkalmazáshoz
Nagy pontosságú érzékelőmegoldások vákuumban való alkalmazáshoz

Nagy pontosságú megoldások vákuumban való alkalmazáshoz

Nagy, ultranagy és extrém nagy vákuumban történő alkalmazáshoz az érzékelőknek rendkívüli szerkezeti jellemzőkel kell rendelkezniük. Erre a célra tömítő funkcióval, valamint nagy pontosságú optoelektronikai érzékelőkkel rendelkező becsavarható kiviteleket ajánlunk nagy vákuumban történő felszerelésre. A jelek „Feed-through“ megoldással, kábelátvezetőn keresztülvezetett elektromos vezetékeken kerülnek ki a vákuumkamrából.

Alkalmazási példák

Lapkaközpontosítás a vákuumzsilipben
Lapkák jelenlétének és pozíciójának felismerése „on Blade“
Jelenlét ellenőrzése a ház csatornáján keresztül a vákuumkamrán