Félvezetők > Bizt. lapkamegmunk. – lépésről lépésre
Megbízható pozícióérzékelés lapkamegmunkálás közben

Bizt. lapkamegmunk. – lépésről lépésre

Érzékelőink gondoskodnak róla, hogy a lapkák továbbítása a megmunkálás során minden egyes érzékeny folyamatlépésben megbízhatóan történjen. Az érzékelők pontos jelenlét-ellenőrzéssel, pozíciólekérdezéssel és pozícióérzékeléssel biztosítják, hogy a lapka problémamentesen haladjon a litográfiától a száraz maratáson keresztül a tisztításig. A különlegesen kicsi kialakítások az érzékelők robotokba való beépítését is lehetővé teszik. Így kis beépítési hely esetén is megbízható lapkaérzékelés szavatolható.

Alkalmazási példák

Lapkák jelenlétének ellenőrzése
Lapkafelismerés az endeffektorba építve
Lineáris pozícióérzékelés
FOUP jelenlét ellenőrzése
Pozíciólekérdezés induktív kisfeszültségű érzékelőkkel