Soluzioni per applicazioni nel vuoto
Soluzioni con sensori estremamente precisi per l'applicazione nel vuoto

Soluzioni estremamente precise per applicazioni nel vuoto

Per l'impiego diretto nel vuoto sono necessari sensori dalle eccezionali caratteristiche costruttive. A tal proposito offriamo versioni a vite con funzione sigillante nonché sensori optoelettronici di alta precisione per l'installazione nel vuoto. I segnali vengono presi dalla camera del vuoto utilizzando una soluzione"feed-through“ tramite un passacavo delle linee elettriche.

Esempi di applicazione

Centraggio dei wafer nel compartimento sottovuoto
Riconoscimento di presenza e posizione di wafer "a lama"
Controllo di presenza tramite canale della custodia sulla camera del vuoto