Lavorazione wafer sicura – passo dopo passo
Rilevamento affidabile della posizione nella lavorazione dei wafer

Lavorazione wafer sicura – passo dopo passo

I nostri sensori assicurano che i wafer, durante la loro lavorazione, vengano trasportati in modo affidabile attraverso ciascuna delle sensibili fasi del processo. Con esatto controllo di presenza, interrogazione e rilevamento della posizione, i sensori garantiscono che i wafer giungano agevolmente dalla litografia alla pulitura, attraverso l'incisione a secco. Strutture particolarmente compatte permettono anche l'integrazione dei sensori nei robot: in questo modo possiamo garantire un riconoscimento affidabile dei wafer anche quando lo spazio di montaggio è limitato.

Esempi di applicazione

Controllo di presenza dei wafer
Riconoscimento wafer integrato con effettore finale
Rilevamento di posizione lineare
Controllo di presenza FOUP
Rilevamento di posizione con sensori induttivi a bassa tensione