充填レベルと漏れ検知
半導体製造における漏れ監視

安全なプロセスへの洗練されたテクノロジー

半導体製造では、安全性と安定性への要求が極めて高いです。例えば、充填レベルが常に最適な量で維持されていたり、漏れを瞬時に検知するなど、 Balluff のコンポーネンツによって、お客様のプロセスの安全性に貢献します。Balluffの静電容量センサBCSは、液体、顆粒、粉体などの導電性および非導電性の物質を、直接または容器の壁越しに検出します。BalluffのSmartLevelテクノロジーを備えた静電容量センサによって、濃縮された酸やアルカリも、最大10mmの壁越しに検知できるようになりました。Balluffのセンサは取付けが簡単で、既存の装置にも問題なく組み込むことができます。これによりプロセスが確実に、また効率的、経済的に処理されます。

アプリケーション例

容器の壁越しでの充填レベルの非接触検出
バイパスパイプでの充填レベル確認
タンク内媒体の接触式充填レベル検出
タンク内の非接触充填レベル測定
オーバーフロー槽の漏れ監視