真空環境下アプリケーションへのソリューション
真空環境でのアプリケーション向けの高精度なセンサソリューション

真空環境下アプリケーションへの高精密ソリューション

センサを高真空、超高真空、超純真空の環境で直接使用するには、優れた構造的特徴を持つセンサが必要です。これに応えるため、Balluffはシーリング機能を備えたねじ込み式の仕様、高真空環境で設置できる高精度な光電センサを提供します。この場合、信号は電線のフィードスルーを介して真空チャンバから伝送されます。

アプリケーション例

ロードロック内のウエハのセンタリング
ブレード上のウエハ有無検知と位置検出
バキュームチャンバー筺体のチャネルを通して有無検知