信頼あるウエハプロセス
ウエハ加工時の信頼のおける位置検出

信頼あるウエハプロセス – Step by Step

Balluffのセンサはプロセス時に、要件の厳しい各工程にウエハを確実に搬送します。正確な存在確認、位置検出、および位置認識により、センサはウエハが円滑にリソグラフィからドライエッチングまで搬送できるようにします。特に、小さい構造のセンサをロボットに組み込むことも可能です。これにより、ごく狭い取付けスペースでも信頼性の高いウエハ検出が保証されます。

アプリケーション例

ウエハの有無確認
ウエハ検知をエンドエフェクタに統合
リニア位置検出
FOUPの有無確認
誘導型低電圧センサによる位置の検出