Oplossingen voor de toepassing in vacuüm
Zeer nauwkeurige sensoroplossingen voor de toepassing in vacuüm

Zeer nauwkeurige oplossingen voor de toepassing in vacuüm

Voor het directe gebruik in hoog-, ultrahoog- en ultraschoonvacuüm zijn sensoren met buitengewoon constructieve kenmerken vereist. Wij bieden hiervoor inschroefuitvoeringen met afdichtfunctie en zeer nauwkeurige opto-elektronische sensoren voor de installatie in hoogvacuüm. De signalen worden daarbij per "feed-through"-oplossing via een kabeldoorvoer van de elektrische leidingen uit de vacuümkamer geleid.

Toepassingen

Wafercentrering in de vacuümsluis
Aanwezigheids- en positiedetectie van wafers 'on blade'
Aanwezigheidscontrole door behuizingskanaal bij de vacuümkamer