Veilige waferverwerking - stap voor stap
Betrouwbare positieregistratie bij de waferbewerking

Veilige waferverwerking - stap voor stap

Onze sensoren zorgen ervoor dat wafers bij hun bewerking op betrouwbare wijze door alle afzonderlijke gevoelige processtappen worden getransporteerd. Met exacte aanwezigheidscontrole, positieopvraag en positieregistratie garanderen de sensoren dat de wafers soepel van de lithografie via het droogetsen bij de reiniging terechtkomen. Zeer kleine bouwvormen maken het daarbij ook mogelijk dat de sensoren in de robots kunnen worden geïntegreerd. Zo kunnen wij zelfs bij een kleine inbouwruimte een betrouwbare wafer herkenning garanderen.

Toepassingen

Aanwezigheidscontrole van wafers
Wafer-detectie geïntegreerd in de eindeffector
Lineaire positiemeting
FOUP-aanwezigheidscontrole
Positiedetectie met inductieve laagspanningssensoren