Półprzewodniki > Bezpieczna obróbka wafli krzemowych
Niezawodne ustalanie pozycji przy obróbce płytek półprzewodników

Bezpieczna obróbka wafli krzemowych

Nasze czujniki dbają o to, aby wafle krzemowe były bezpiecznie transportowane przez każdą z wrażliwych faz procesu. Dzięki precyzyjnej kontroli obecności, odczytowi pozycji i ustalaniu pozycji czujniki zapewniają bezproblemowy transport płytek od fotolitografii poprzez trawienie suche aż po czyszczenie. Niewielkie rozmiary czujników umożliwiają przy tym także integrację ich w robotach. W ten sposób możemy zagwarantować niezawodne rozpoznawanie wafli krzemowych nawet przy najmniejszej przestrzeni montażowej.

Przykładowe aplikacje

Kontrola obecności wafli krzemowych
Funkcja rozpoznawania wafli krzemowych wbudowana w chwytak
Detekcja położenia liniowego
Kontrola obecności FOUP
Detekcja pozycji za pomocą iskrobezpiecznych czujników indukcyjnych NAMUR