Решения для использования в вакууме
Высокоточные датчики для использования в вакууме

Высокоточные решения для использования в вакууме

Для непосредственного применения в условиях высокого-, ультравысокого и ультрачистого вакуума требуются датчики с исключительными конструктивными характеристиками. Мы предлагаем вкручиваемые модели с функцией герметизации и высокоточные оптоэлектронные датчики для установки в условиях высокого вакуума. При этом сигналы выводятся с помощью решения «Feed-through» по кабелепроводу из вакуумной камеры.

Примеры применения

Центровка полупроводниковой пластины в вакуумном шлюзе
Контроль наличия и положения полупроводниковых пластин «on Blade»
Контроль наличия через канал корпуса к вакуумной камере