Безоп.обр. полупр. пласт. – шаг за шагом
Надежное определение положения при обработке полупроводниковых пластин

Безоп.обр. полупр. пласт. – шаг за шагом

Наши датчики надежную транспортировку обрабатываемых полупроводниковых пластин через каждую из чувствительных технологических станций. Благодаря точному контролю наличия, запросу и определению положения датчики гарантирует отсутствие трения при транспортировке полупроводниковой пластины от участка литографии через участок сушки и травления на участок очистки. Особо малые типоразмеры гарантируют интеграцию датчиков в роботов. Это позволяет надежно распознавать полупроводниковые пластины даже в условиях недостаточного монтажного пространства.

Примеры применения

Контроль наличия пластин
Датчик пластин, встроенный в исполнительный орган
Линейное определение положения
Контроль наличия FOUP
Запрос положения с помощью индуктивных низковольтных датчиков