Halvledare > Lösningar för applikationer i vakuum
Givarlösningar med hög precision för applikationer i vakuum

Lösningar med hög precision för applikationer i vakuum

Vid direkt användning i hög- och ultrahögvakuum krävs givare med exceptionella konstruktionsegenskaper. Vi kan erbjuda både tätade utföranden för inskruvning och optoelektroniska givare med hög precision för montering i högvakuum. Signalerna överförs då genom en kabelgenomföring för de elektriska ledningarna från vakuumkammaren.

Exempel på applikationer

Centrering av kiselplattan i vakuumslussen
Närvaro- och positionsavkänning av kiselplattor ”on blade”
Närvarokontroll genom kanalen till vakuumkammaren