Säker Wafer-bearbetning – steg för steg
Tillförlitlig positionsavläsning vid bearbetning av kiselplattor

Säker Wafer-bearbetning – steg för steg

Våra givare ser till att kiselplattan – Wafern – transporteras säkert mellan vart och ett av de känsliga processtegen under bearbetningen. Genom exakt närvarokontroll och positionsavläsning kontrollerar givarna att kiselplattorna friktionsfritt förs från exponeringen/framkallningen via torretsningen och fram till rengöringen. Den extra kompakta designen gör det möjligt att bygga in givarna i robotar. Då går det att garantera en säker chipsavkänning även när det är trångt om monteringsutrymmet.

Exempel på applikationer

Närvarokontroll av kiselplattor
Inbyggd avkänning av kiselplattor i arbetsdonet
Linjär positionsavläsning
FOUP-närvarokontroll
Positionsavläsning med induktiva lågspänningsgivare