Riešenia na použitie vo vákuu
Vysokopresné riešenia snímača na použitie vo vákuu

Vysokopresné riešenia na použitie vo vákuu

Na priame použitie vo vysokom vákuu, ultravákuu a ultračistom vákuu sú potrebné snímače s mimoriadnymi konštrukčnými vlastnosťami. Na to vám ponúkame verzie s vonkajším závitom a tesniacou funkciou, ako aj vysokopresné optoelektronické snímače na inštaláciu vo vysokom vákuu. Signály sú pritom z vákuovej komory vyvedené pomocou riešenia „Feed-through“ cez káblovú priechodku elektrických vodičov.

Príklady aplikácií

Vycentrovanie wafera vo vákuovom uzávere
Rozpoznávanie prítomnosti a polohy waferov „on Blade“
Kontrola prítomnosti cez kanál telesa na vákuovej komore