Bezpečné spracovanie. waferov – krok za krokom
Spoľahlivá registrácia výrobkov pri spracovaní waferov

Bezpečné spracovanie. waferov – krok za krokom

Naše snímače sa postarajú o to, aby sa wafer pri vašom spracovaní spoľahlivo dostal cez každý z jednotlivých citlivých technologických krokov. Vďaka presnej kontrole prítomnosti, zisťovaniu polohy a jej registrácii snímače zabezpečia, aby sa wafer dostal plynulo z litografie cez suché leptanie až k čisteniu. Mimoriadne malé konštrukčné rozmery pritom umožňujú integráciu snímačov aj do robotov. Preto dokážeme zabezpečiť spoľahlivú identifikáciu wafera aj pri veľmi obmedzenom priestore na montáž.

Príklady aplikácií

Kontrola prítomnosti waferov
Rozpoznávanie waferov integrované do koncového efektora
Lineárne zaznamenanie polohy
Kontrola prítomnosti FOUP
Zisťovanie polohy pomocou indukčných nízkonapäťových snímačov