Detekce proc. kapalin kontaktem s médiem
Když stěna nádrže neumožňuje detekci zvenku, jsou správnou volbou naše kapacitní snímače v pouzdru PTFE. Tyto snímače snímají hladinu vysoce vodivých médií jako kyseliny a louhy přímo v procesní kapalině. Díky tomu je možné například zahájit leptání nebo nanášení rezistu, vyvolání po litografii nebo chemicko-mechanické leštění a čištění waferu podle plánu.
Zvláštnosti
- vysoká chemická odolnost díky pouzdru PTFE
- pro kyseliny, louhy, ultračistou vodu a suspenze
- kompenzace pěny a usazenin pomocí technologie Smart Level
Související témata
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry