Polovodičový průmysl

Mobilní komunikace – Internet věcí – Inteligentní továrna – Inteligentní domácnost. Za těmito aktuálními trendy je digitalizace. A tedy polovodiče jako její srdce. Průmysl polovodičů je nepochybně orientován na budoucnost.

S digitalizací stoupají také požadavky na průmysl polovodičů. Například integrované obvody by měly být stále výkonnější. Při výrobě integrovaných obvodů je nutné zvládat vysoce komplexní, technologicky maximálně náročný proces, a to nákladově efektivně.

Společnost Balluff vám poskytuje kompetentní podporu pro zpracování waferů v průmyslu výroby integrovaných obvodů, solárních článků a také displejů. Spočívá ve spolehlivých miniaturizovaných řešeních pro aplikace v čistých prostorách – například pro manipulaci s wafery nebo v agresivních chemických prostředích. Díky našemu rozsáhlému a fundovanému technickému know-how můžeme individuálně řešit také vaše požadavky pro konkrétní aplikace.

Manipulace s wafery: Vysoká přesnost i mezi kroky procesu

Pro manipulaci s wafery v modulu EFEM, jako např. na koncovém effektoru nebo pre-aligneru, získáte u firmy Balluff vysokou přesnost. Wafery je možné přesně polohovat a spolehlivě přivádět k jednotlivým pracovním krokům jen s nejvyšší přesností.

Naše snímače a systémy se vyznačují malými rozměry, které umožňují jednoduše řešit náročnou integraci do stroje. Pro obzvlášť obtížné podmínky – nakonec vypadá každý koncový effektor jinak – můžeme naši techniku také individuálně přizpůsobit vašim požadavkům.

Bezdotykové principy měření eliminují abrazi, takže třída čistých prostor je garantována v průběhu celého procesu. Použijte spolehlivé monitorování manipulace s wafery a zajistěte svůj proces.

Zpracování waferů: Spolehlivé operace v chemickém prostředí

Pro splnění speciálních požadavků při výrobě polovodičů získáte u firmy Balluff optimální řešení pro procesy v mokré chemii. Speciální pouzdro PTFE umožňuje spolehlivou kontrolu hladiny – například při leptání, čištění waferů nebo lakování a vyvolávání v litografii. O to, aby přitom také souhlasily procesní teploty, se postarají naše snímače teploty. Pomocí dotykových snímačů můžete spolehlivě kontrolovat teploty při zpracování waferů.

S naší senzorikou kontrolujete také zdvih ventilu, takže můžete v depozici vytvářet homogenní a ideální vrstvy.

Manipulace s nosiči: Bezdotykové přesné polohování

Systémy Balluff podporují přesnou a efektivní manipulaci s nosiči – ať už se jedná o nosič FOUP nebo SMIF. S našimi systémy monitorujete pohyby AMHS při plně automatickém transportu nosičů. A to maximálně spolehlivě, krátké úseky s RGV i dlouhé úseky s OHV.

Současně zajišťují bezdotykové systémy přesné polohování. Můžete tak spolehlivě přivádět wafery ke každému kroku zpracování. Tření a odštípávání přitom nepředstavují problém.

Systémy Balluff kromě toho garantují možnost průběžného sledování. Díky tomu je zajištěna možnost dokumentování polohy nosičů v reálném čase.

Použití vakua: Pro podporu spolehlivosti procesu

Vynikající konstrukční vlastnosti snímačů od firmy Balluff umožňují je používat přímo ve vakuu. Například když se wafer při vyrovnávání „on the fly“ ve vakuové propusti vystřeďuje nebo když se má kontrolovat jeho přítomnost.

Takto máte u nás k dispozici šroubovací provedení s těsnicí funkcí a snímače, které lze instalovat přímo ve vysokém vakuu. Jejich signály se spolehlivě vyvádí elektrickými kabely přes kabelovou průchodku. Přitom je zajímavé zejména toto: Protože u snímače používáme materiály optimalizované pro odplyněné prostory, je neustále zajištěna spolehlivost a bezpečnost vašeho procesu. Kromě toho vyrobíme na přání snímače i z materiálů podle vaší specifikace.