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Procesamiento de obleas

Procesamiento fiable en entornos químicos

Procesamiento fiable en entornos químicos

Para enfrentar los desafíos especiales de la producción de semiconductores, Balluff le ofrece soluciones óptimas para procesos en química húmeda. Las carcasas especiales de PTFE le permiten controlar los niveles, como al grabar, limpiar las obleas o recubrir y revelar en litografía. Nuestros sensores de temperatura aseguran que la temperatura del proceso sea correcta. Debido a que estos sensores de contacto le permiten monitorear de manera fiable las temperaturas en el procesamiento de obleas.

Con nuestros sensores también puede controlar la carrera de la válvula, para que pueda producir capas homogéneas e ideales en descarga.

Ejemplos de aplicación