Centrado de wafers en las compuertas de vacío

Sensores fotoeléctricos para sujetadores de vacío

La solución

Los microsensores fotoeléctricos ópticos MICROmote de Balluff proporcionan una solución para el centrado de wafers. Están disponibles en una versión que se atornilla con una carcasa de acero inoxidable robusto que se sella para soportar ambientes de alto vacío. Además, los cabezales de detección pueden personalizarse para adaptarse a la mayoría de las aplicaciones que son extraordinariamente pequeñas con cables incorporados con clasificación para su uso en ambientes al vacío. Estos sensores utilizan nuestros amplificadores remotos estándar que proporcionan múltiples funciones de operación y diversas salidas.

Características

  • Carcasa de acero inoxidable robusta con función de sellado
  • La microóptica proporciona una superficie mínima de ataque con el mayor rendimiento óptico
  • Para aplicaciones de vacío de hasta 1 x 10-9 mbar
Barrera fotoeléctrica de referencia para el centraje de obleas en la esclusa de vacío
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