Detección de posición lineal

Detección de posición lineal

Medición con máxima precisión y rapidez

La solución

Los sistemas de medición de posición y ángulo con codificación magnética de Balluff, pueden asegurar un posicionamiento preciso para que los wafers estén en la posición correcta durante la fabricación. Disponibles en configuración lineal o rotativa, la cinta y el cabezal de detección son increíblemente compactos, por lo que proporcionan versatilidad a la hora del montaje. Además, se dispone de señales de salida incrementales o absolutas, que admiten tareas de medición de posición o ángulo altamente dinámicas en sistemas que se manejan en tiempo real.

Características

  • Muy precisos: hasta un máximo de ±7 µm con resoluciones de incluso 1 µm
  • Muy rápidos: velocidades de hasta 20 m/s
  • Siempre se conoce la ubicación gracias a la señal de salida absoluta
Máxima precisión y rapidez en el procesamiento de obleas
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> Soluciones para la Industria de Semi-Conductores [PDF]
Equipo industrial
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