Manipulación de wafers
Detección de posición fiable en el procesamiento de obleas

Detección fiable de presencia de obleas

La línea de microsensores ópticos MICROmote de Balluff está diseñada para proporcionar soluciones de detección precisa incluso en aplicaciones de alto vacío y ultra alto vacío. Existen dos tipos de sensores fundamentales: para instalación en la pared de la cámara de vacío o para instalación completa en el entorno UHV (ultra alto vacío). Los sensores MICROmote con amplificadores independientes son ideales para aplicaciones ópticas en alto vacío. Los cabezales de los sensores son pequeños y se les puede dar casi cualquier forma que especifique el usuario.

Ejemplos de aplicación

Detección precisa de nivel por puntos no invasiva
Detección de wafers integrada al efector final
Detección de posición lineal
Verificación de presencia del FOUP (front opening universal pod)
Detección de posición con sensores inductivos