Soluciones de detección para aplicaciones de vacío
Soluciones de sensores altamente precisos para aplicaciones de vacío

Soluciones precisas para aplicaciones de ultra alto vacío

La línea de microsensores ópticos MICROmote de Balluff está diseñada para proporcionar soluciones de detección precisa incluso en aplicaciones de alto vacío y ultra alto vacío. Existen dos tipos de sensores fundamentales: para instalación en la pared de la cámara de vacío o para instalación completa en el entorno UHV (ultra alto vacío). Los sensores MICROmote con amplificadores independientes son ideales para aplicaciones ópticas en alto vacío. Los cabezales de los sensores son pequeños y se les puede dar casi cualquier forma que especifique el usuario.

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Ejemplos de aplicación

Centrado de wafers en las compuertas de vacío
Comprobación de presencia a través del canal de la carcasa en la cámara de vacío
Detección de presencia y posición de wafers "en la cuchilla”