Contrôle de présence à travers une ouverture dans la chambre sous vide

Détection de plaquettes de silicium dans un espace limité

La solution

Les capteurs optoélectroniques de Balluff garantissent un contrôle de présence fiable des plaquettes de silicium, même à travers le chenal étroit de la chambre à vide. Ils disposent de micro-optiques avec un petit point lumineux. Nous réalisons la fonction d'étanchéité selon vos spécifications de construction individuelles.

Les particularités

  • Micro-optiques avec petit point lumineux
  • Boîtier en acier inoxydable robuste avec fonction d'étanchéité selon vos spécifications de construction individuelles
  • Pour les applications sous vide jusqu'à 1 x 10-9 mbar
  • Ajustement longue distance simple par le biais d'un amplificateur externe
Détection fiable des plaquettes de silicium, également dans des conditions étroites extrêmes
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