Détection de position linéaire

Détection de position linéaire

Mesure rapide et avec une précision maximale

La solution

Le système de position à codage magnétique et de calcul d'angle de Balluff assure un positionnement précis pour les plaquettes de silicium afin qu'elles soient dans des positions correctes lors de l'étape de fabrication. Disponibles dans une configuration linéaire ou rotative, la tête et la bande de détection sont incroyablement compactes et permettent une grande polyvalence du montage. De plus, les signaux de sortie incrémentaux ou absolus disponibles prennent en charge des systèmes de mesure de la force centrifuge ou de calcul de l'angle en temps réel.

Les particularités

  • Très précis, jusqu'à ± 7 µm avec une résolution allant jusqu'à 1 µm
  • Très rapide, vitesse de mesure atteignant 20 m/s
  • La position est toujours connue grâce au signal de sortie absolu
Précision maximale et rapidité lors du traitement des plaquettes de silicium
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> Solutions pour l'industrie semi-conductrice [PDF]
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