Détection de présence et de position de plaquettes de silicium on Blade (sur des lames)

Détection de présence et de position de plaquettes de silicium on Blade (sur des lames)

Capteurs photoélectriques pour sas

La solution

Nos capteurs optoélectroniques BOH détectent de façon fiable la présence et la position des plaquettes de silicium "sur des lames". Sans zone morte. Leur hauteur de montage ultraplate permet une intégration peu encombrante dans votre système. Les capteurs MICROmotes de Balluff rendent possible la vérification fiable de présence de plaquettes en silicium dans les espaces confinés de la chambre sous vide. Les capteurs micro-optiques produisent un petit point de lumière focalisé sans zone morte avec son design ultra plat de 1.7 mm. Les têtes des capteurs sont logées dans des boîtiers étanches respectant les spécifications du client.

Les particularités

  • Peu encombrants, du fait d'une hauteur de construction ultraplate (1,7 mm)
  • Pas de zone morte
  • Câble PTFE optimisé en termes de dégagement de gaz
  • Pour applications sous vide jusqu'à 1 x 10-9 mbar
Détection de présence et de position de plaquettes de silicium sur les lames
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> Solutions pour l'industrie semi-conductrice [PDF]
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