Centrage des plaquettes de silicium dans le sas

Centrage des plaquettes de silicium dans le sas

Capteurs photoélectriques pour sas

La solution

Les capteurs photoélectriques micro-optiques MICROmote de Balluff fournissent une solution pour le centrage des plaquettes de silicium. Ils sont disponibles dans une version sans vis faite en acier inoxydable robuste dont l'étanchéité résiste à des environnements sous vide poussé. De plus, les têtes des capteurs peuvent être personnalisées pour convenir à toutes les utilisations nécessitant des câbles incorporés particulièrement petits et résistants à un environnement sous vide. Ces capteurs utilisent notre amplificateur à distance standard qui fournit de multiples caractéristiques de fonctionnement et de nombreuses sorties.

Les particularités

  • Boîtier en acier inoxydable robuste avec fonction d'étanchéité
  • La micro-optique fournit une surface d'attaque minimale en garantissant la meilleure performance optique
  • Pour les applications sous vide jusqu'à 1 x 10-9 mbar
Barrage optique de référence pour la détection de plaquettes de silicium dans le sas sous vide (Load-Lock)
Téléchargement
> Solutions pour l'industrie semi-conductrice [PDF]
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