Solutions de détection sous vide
Solutions de capteurs ultraprécises pour une utilisation sous vide

Solutions de précision pour les applications sous ultravide

La gamme de capteurs MICROmote micro-optiques de Balluff est conçue pour apporter des solutions de détection précises, même pour des applications sous vide poussé et sous ultravide. Nous proposons deux types de capteurs fondamentaux, que ce soit pour une installation dans un mur d'une enceinte à vide ou pour une installation complète dans un environnement ultravide. Les capteurs MICROmote avec des amplificateurs séparés sont idéaux pour les applications optiques sous vide poussé. Les têtes des capteurs sont petites et peuvent être façonnées de façon à respecter la majorité des spécifications des utilisateurs.

Exemples d'application

Centrage des plaquettes de silicium dans le sas
Contrôle de présence à travers une ouverture dans la chambre sous vide
Détection de présence et de position de plaquettes de silicium on Blade (sur des lames)