Manipulation des plaquettes de silicium
Détection de position fiable pour le traitement de plaquettes de silicium

Détection fiable de la présence de plaquettes de silicium

Les capteurs Balluff garantissent la détection fiable des plaquettes de silicium afin qu'elles parcourent chacune des étapes du processus de fabrication. Grâce à un contrôle de présence et une détection de position d'une grande précision, les capteurs garantissent de façon sûre que les plaquettes de silicium parcourent sans dérangement l'ensemble du processus, de la lithographie jusqu'au nettoyage en passant par la gravure à sec. Des formes particulièrement compactes permettent à cette occasion également une intégration des capteurs dans le robot et l'effecteur.

Exemples d'application

Vérification de la présence de plaquettes de silicium
Détection de plaquettes de silicium intégrée à l'effecteur
Détection de position linéaire
Vérification de présence de FOUP
Détection de position par capteurs inductifs