Technológiai folyadékok érzékelése a közeggel érintkezve

Ha a tartályfal nem teszi lehetővé a külső érzékelést, akkor a PTFE házban elhelyezett kapacitív érzékelőink jelentik a megfelelő választást. Ezek közvetlenül a technológiai folyadékban érzékelik a nagyon jó vezetőképességű közegek, például savak és lúgok töltési szintjét. Így a tervezésnek megfelelően elkezdhető például egy fotóreziszt réteg felhordása vagy maratása, a litográfia szerinti előhívás vagy a lapka vegyi-mechanikai polírozása és tisztítása.

Jellemzők