Industria dei semiconduttori

Comunicazione mobile – Internet of Things – Smart Factory – Smart Home. Dietro queste innovazioni si nasconde la digitalizzazione. E i semiconduttori ne sono parte integrante. L'industria dei semiconduttori è sicuramente pioniera in questo senso.

Con la rivoluzione digitale crescono anche le esigenze: ad esempio, i chip devono risultare sempre più performanti. La produzione di chip implica la gestione efficiente, in termini di costi, di un processo altamente complesso e tecnologicamente sofisticato.

Balluff offre competenza e supporto per la lavorazione di wafer nell'industria solare, dei chip e nella produzione di display, grazie a soluzioni affidabili miniaturizzate per le applicazioni in clean room, come ad esempio nella movimentazione di wafer o in ambienti chimici aggressivi. Forti del nostro vasto know-how tecnico siamo in grado di risolvere ogni vostra esigenza applicativa.

Handling dei wafer: Estrema precisione anche tra un passaggio operativo e l'altro

Balluff offre la massima precisione per l'handling di wafer nel modulo EFEM, ma anche sull'effettore finale o il pre-allineatore. Perché solo la massima precisione consente di posizionare esattamente i wafer e di gestire in maniera affidabile ogni passaggio di lavorazione.

I nostri sensori e sistemi presentano forme costruttive ridotte, risolvendo così senza problemi l'integrazione complessa nella macchina. Per condizioni particolarmente difficili, dopo tutto ogni terminale è diverso dall'altro, siamo in grado di adattare la nostra tecnica a ogni vostra esigenza.

I principi di misurazione contactless evitano l'abrasione e garantiscono la classe di pulizia della camera bianca nell'intero processo. Approfittate del monitoraggio affidabile nell'handling dei wafer e garantite un processo sicuro.

Lavorazione wafer: Intervenire in maniera affidabile in ambienti con agenti chimici

Per soddisfare le esigenze particolari legate alla produzione di semiconduttori rivolgetevi a Balluff: l'azienda offre sempre la soluzione ideale per i processi chimici che utilizzando sostanze liquide. Le speciali custodie in PTFE consentono di controllare il livello di riempimento in maniera affidabile, ad esempio in fase di incisione e pulitura dei wafer o di verniciatura e sviluppo nella litografia. Quando poi anche la temperatura di processo è corretta, è tutto merito dei nostri sensori di temperatura che, a contatto col fluido, monitorano la temperatura in maniera affidabile durante la lavorazione dei wafer.

I nostri sensori consentono di controllare anche l'alzata della valvola in modo da creare strati omogenei e ideali nella deposizione.

Handling di carrier: Posizionamento esatto senza contatto

I sistemi Balluff supportano l'handling preciso ed efficiente dei carrier, a prescindere che si tratti di un FOUP o di un Pod SMIF. I nostri sistemi consentono di monitorare i movimenti dell'AMHS durante il trasporto completamente automatico del carrier. Il tutto in maniera assolutamente affidabile, sia su brevi tragitti con RGV che su lunghi tragitti con OHV.

Nello stesso tempo i sistemi contactless garantiscono l'esatto posizionamento e consentono di utilizzare i wafer in maniera sicura in ogni fase di lavorazione. L'attrito e la separazione non sono più un problema.

I sistemi Balluff garantiscono inoltre una completa tracciabilità e la sicurezza che la posizione del carrier viene documentata in tempo reale.

Applicazione sotto vuoto: A supporto della sicurezza di processo

Grazie alle loro esclusive caratteristiche strutturali, i sensori Balluff possono essere utilizzati direttamente nelle applicazioni sotto vuoto, ad esempio quando il wafer deve essere centrato in fase di allineamento "on the fly" nella camera sotto vuoto o quando deve esserne controllata la presenza.

Da noi trovate versioni da avvitare con funzione di tenuta, ma anche sensori per l'installazione diretta nell'alto vuoto, i cui segnali vengono emessi in tutta sicurezza tramite i cavi elettrici attraverso i pressacavo. Le particolarità più interessanti: Poiché per il sensore utilizziamo materiali con emissione di gas ottimizzata, il vostro processo è sicuro come sempre. Inoltre produciamo su richiesta sensori nei materiali da voi indicati.