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Handling dei wafer

Estrema precisione anche tra un passaggio operativo e l'altro

Estrema precisione anche tra un passaggio operativo e l'altro

Balluff offre la massima precisione per l'handling di wafer nel modulo EFEM, ma anche sull'effettore finale o il pre-allineatore. Perché solo la massima precisione consente di posizionare esattamente i wafer e di gestire in maniera affidabile ogni passaggio di lavorazione.

I nostri sensori e sistemi presentano forme costruttive ridotte, risolvendo così senza problemi l'integrazione complessa nella macchina. Per condizioni particolarmente difficili, dopo tutto ogni terminale è diverso dall'altro, siamo in grado di adattare la nostra tecnica a ogni vostra esigenza.

I principi di misurazione contactless evitano l'abrasione e garantiscono la classe di pulizia della camera bianca nell'intero processo. Approfittate del monitoraggio affidabile nell'handling dei wafer e garantite un processo sicuro.

Esempi di applicazione