Soluções de sensor de alta precisão para a aplicação em vácuo
Soluções de sensor de alta precisão para a aplicação em vácuo

Soluções de alta precisão para a aplicação em vácuo

Para a aplicação direta em alto vácuo, ultra-alto vácuo e vácuo ultrapuro são necessários sensores com características construtivas excepcionais. Nós oferecemos para tal, modelos de aparafusamento com função de vedação, assim como sensores optoeletrônicos de alta precisão, para instalação em alto vácuo. Neste caso, os sinais são conduzidos para fora da câmara de vácuo por meio de solução "feed-through" através de uma passagem para os cabos elétricos.

Exemplos de aplicação

  • Centralização de wafers na trava de vácuo

    Duas alternativas de barreira fotoelétrica de referência para sistemas Load-Lock

    A solução – variante 1

    Uma variante para a implementação de uma barreira fotoelétrica de referência para a centralização de wafers é oferecida pelos nossos sensores optoeletrônicos BOH. Eles estão disponíveis como modelo de aparafusamento com invólucro em aço inoxidável robusto com função de vedação e trabalham através de micro-óticas com pequeno ponto de luz. O ajuste fino pode ser realizado de forma confortável através do amplificador externo.

    As características específicas

    • modelo para aparafusamento
    • invólucro em aço inoxidável robusto com função de vedação
    • micro-óticas com ponto de luz pequeno
    • para aplicações em vácuo até 1x10-9 mbar
    • ajuste remoto simples por meio de amplificador externo

    A solução – variante 2

    Como alternativa, estão disponíveis os nossos sensores óticos difusos ou barreiras fotoelétricas unidirecionais BOH com micro-ótica integrada, que podem ser adaptados conforme as suas exigências específicas.

    As características específicas

    • micro-ótica integrada para a sua moldura individual
    • para aplicações em vácuo até 1x10-9 mbar
    Barreira fotoelétrica de referência para a centralização de wafers na trava de vácuo (Load-Lock)
    Localizar os produtos apropriados Download

    Equipe industrial

    Você tem alguma dúvida ou deseja consultoria? A nossa equipe industrial está à sua disposição para consultas.

  • Detecção de presença e posição de wafers "on Blade"

    Duas alternativas de barreira fotoelétrica de referência para sistemas Load-Lock

    A solução

    Os nossos sensores optoeletrônicos BOH detectam de maneira confiável a presença e a posição dos wafers "on Blade". E sem zona morta. A sua altura de instalação ultraplana permite uma integração com economia de espaço em seu sistema.

    As características específicas

    • com economia de espaço em função da altura de construção ultraplana (1,7 mm)
    • sem zona morta
    • cabo em PTFE com desgaseificação otimizada
    • ajuste remoto simples por meio de amplificador externo
    Detecção de presença e posição de wafers "on Blade"
    Localizar os produtos apropriados Download

    Equipe industrial

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  • Controle de presença através de canal do invólucro na câmera de vácuo

    Detecção confiável de wafers mesmo em condições extremamente estreitas

    A solução

    Os sensores optoeletrônicos BOH da Balluff permitem um controle confiável da presença de wafers mesmo através do estreito canal do invólucro na câmara de vácuo. Eles possuem micro-óticas com ponto de luz pequeno. A função de vedação é implementada conforme as suas especificações individuais de design.

    As características específicas

    • micro-óticas com ponto de luz pequeno
    • invólucro em aço inoxidável robusto com função de vedação conforme as especificações individuais de design
    • para aplicações em vácuo até 1x10-9 mbar
    • ajuste remoto simples por meio de amplificador externo
    Detecção confiável de wafers mesmo em condições extremamente estreitas
    Localizar os produtos apropriados Download

    Equipe industrial

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