Detecção confiável de posição no processamento de wafers
Detecção confiável de posição no processamento de wafers

Process. seguro de wafer – passo a passo

Os nossos sensores garantem que, durante o seu processamento, os wafers sejam transportados de maneira confiável através de cada um dos passos sensíveis do processo. Com controle exato de presença e detecção de posição, os sensores garantem que os wafers sejam conduzidos de maneira otimizada da litografia, para a caustificação a seco, e finalmente até a limpeza. Os formatos construtivos particularmente pequenos permitem também a integração dos sensores em robôs. Assim é possível garantir uma detecção confiável dos wafers mesmo em um espaço de instalação reduzido.

Exemplos de aplicação

  • Controle de presença de wafers

    Duas variantes confiáveis para o controle de presença

    A solução – variante 1

    Os nossos sensores capacitivos BCS possuem uma instalação bem compacta, com uma altura de 2,5 mm e com diâmetro de 18 mm. Sendo assim, eles podem ser integrados com perfeição. O ajuste remoto é possível por meio de um amplificador separado.

    As características específicas

    • altura de instalação muito compacta (2,5 mm, diâmetro de 18 mm)
    • cabo de conexão de três condutores altamente flexível
    • carcaça em aço inoxidável, superfície ativa em PTFE
    • ajuste remoto simples por meio de amplificador externo

    A solução – variante 2

    Os nossos sensores optoeletrônicos BOH possuem uma instalação extremamente compacta de apenas 1,7 mm. Eles podem ser integrados com perfeição. E o ajuste fino pode ser realizado de forma simples por meio de um amplificador separado.

    As características específicas

    • altura de instalação muito compacta (2,5 mm, diâmetro de 18 mm)
    • cabo de conexão de três condutores altamente flexível
    • invólucro em aço inoxidável
    • luz infravermelha
    • compatível para vácuo
    • ajuste remoto simples por meio de amplificador externo
    Controle de presença de wafers
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    Equipe industrial

    Você tem alguma dúvida ou deseja consultoria? A nossa equipe industrial está à sua disposição para consultas.

  • Detecção de wafers integrada na extremidade do atuador

    Detecção de alta precisão através de ponto de luz exato

    A solução

    Os nossos sensores optoeletrônicos BOH são integrados diretamente na extremidade do atuador e garantem aqui uma detecção altamente precisa dos wafers. Isto é garantido, principalmente, pela barreira fotoelétrica com micro-ótica, bem como pelo ponto de luz particularmente exato.

    As características específicas

    • Barreira fotoelétrica com micro-ótica
    • ponto de luz extremamente exato
    • cabo de sensor altamente flexível, resistente a grandes cargas externas
    Detecção de wafers integrada no atuador da extremidade
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  • Registro linear da posição

    Medição com máxima precisão e rapidez

    A solução

    Para o registro linear de posição, a solução perfeita são os nossos sistemas de medição de deslocamento e de ângulo BML com codificação magnética: O sistema de medição realiza a sua tarefa com altíssima precisão e rapidamente, com uma resolução de até 1 μm e uma precisão de sistema de até +/–7 μm. O sistema trabalha sem contato e, portanto, é totalmente livre de desgaste.

    As características específicas

    • máxima precisão (resolução até 1 μm) e rapidez
    • precisão do sistema de até +/–7 μm
    • livre de desgaste, em função do princípio de operação sem contato
    • adequado para trajetos com até 48 m
    Máximas precisão e rapidez no processamento de wafers
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  • Controle de presença FOUP

    Controle confiável com tecnologia LED

    A solução

    Os nossos sensores optoeletrônicos BOH são equipados com tecnologia LED e foco individual, e estão disponíveis opcionalmente como barreira fotoelétrica ou sensor ótico difuso. Em função de sua construção particularmente chata, podem ser integrados na cadeia de processo com economia de espaço.

    As características específicas

    • Tecnologia LED
    • economia de espaço em razão da construção particularmente chata
    • foco individual
    • disponível como barreira fotoelétrica ou como sensor ótico difuso
    Controle de presença FOUP com tecnologia LED
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  • Detecção de posição com sensores indutivos de baixa tensão

    Detecção confiável com sensores NAMUR

    A solução

    Com os nossos sensores indutivos NAMUR BES você caminha pelo lado seguro no processamento de wafers: o sensor respeita as recomendações NAMUR e detecta interrupções de cabo e curtos-circuitos de maneira confiável. Em razão da sua reduzida absorção de corrente, ele gera um aquecimento próprio mínimo. Portanto, a aplicação contínua é possível sem que se apresentem problemas.

    As características específicas

    • aquecimento próprio mínimo em função da reduzida absorção de corrente
    • garantia de aplicação contínua
    • detecta rupturas de cabos e curtos-circuitos de maneira confiável
    • tamanhos D4, D6,5, M5, M8 e 5x5
    Consulta confiável com sensores NAMUR no processamento de wafers
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