Controle de presença através de canal do invólucro na câmera de vácuo

Controle de presença através de canal do invólucro na câmera de vácuo

Detecção confiável de wafers mesmo em condições extremamente estreitas

A solução

Os sensores optoeletrônicos BOH da Balluff permitem um controle confiável da presença de wafers mesmo através do estreito canal do invólucro na câmara de vácuo. Eles possuem micro-óticas com ponto de luz pequeno. A função de vedação é implementada conforme as suas especificações individuais de design.

As características específicas

  • micro-óticas com ponto de luz pequeno
  • invólucro em aço inoxidável robusto com função de vedação conforme as especificações individuais de design
  • para aplicações em vácuo até 1x10-9 mbar
  • ajuste remoto simples por meio de amplificador externo
Detecção confiável de wafers mesmo em condições extremamente estreitas
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